直线位移测量
在现代精密工程与先进制造领域,对直线位移的测量精度要求已步入纳米甚至亚纳米时代。双频激光干涉仪以激光波长为“尺”、以干涉现象为“眼”,凭借其卓越的抗干扰能力和高动态性能,,成为高端制造领域不可或缺的计量设备。
SL600 双频激光干涉仪,采用独特的原光路返回的设计。在其它测长干涉仪常见设计中,从靶标反射回来的测试激光束,会平移数毫米距离,再返回激光头;而SL600的测试激光自靶标回射时,完全按原光路返回,这一特点带来独有优势:
– 简单的靶镜附件,方便快速的光路设置和调整。SL600靶镜附件仅包括角锥及相关支架;只需简单将激光对准于角锥靶镜中心,就能够得到干涉信号。
– SL600支持垂直于激光光束放置的平面反射镜作为靶标,来代替角锥靶标;当平面反射镜有垂直于光束的侧向位移时,仍可以进行光束方向的位移测量。

应用场景

● 精度标定与补偿:检测并补偿高端数控机床、三坐标测量机的定位误差,直接提升加工精度。
● 性能验证与诊断:测量精密直线导轨、运动平台的直线度误差,用于装配调校与磨损分析。
● 超精密运动控制:作为核心传感器,直接集成于半导体光刻机工作台,实现纳米级实时定位。