双频激光测长
SL-600 | ||
|---|---|---|
系统精度 | ±0.5ppm | |
激光器稳频精度 | ±0.05ppm | |
分辨率 | 10nm | |
最大测量速度 | 4.0m/s | |
最大采样频率 | 5khz | |
测量范围 | 0~30m | |
技术优势
差分双频干涉设计，抗噪声，支持高速运动测试
双频激光干涉仪在原理上，与单频激光干涉仪，仅靠追踪干涉相位变化得到位移变化不同；双频激光测长仪是通过分析测试光与参考光的频差变化，来得到位移变化信息的。
双频激光干涉仪的测试激光和参考激光之间，有一个固有频差。当靶镜有位移变化时，自靶镜回射的测试激光，和参考激光的频差会相应产生变化，这称为“多普勒效应”。双频激光测长仪是通过分析频差变化，来得到位移变化信息的。
{多普勒双频激光干涉仪工作示意图}
基于多普勒效应的双频激光干涉仪，能良好克服单频干涉仪，背景光强干扰，直流信号漂移等问题；具有抗干扰，噪声小，允许多通道复用等优点。
双频激光干涉仪频差在4M-5M Hz时，对应允许的最高位移速度为1米/秒左右；SL600采用声光调制技术，频差120MHz，最大测量位移速度可达4m/秒。
同光路设计
SL600 采用独特的测试光原光路返回的设计。其它测长干涉仪常见设计中，从靶标反射回来的测试激光束，会平移数毫米距离，再返回激光头；而SL600的测试激光自靶标回射时，完全按原光路返回，这一特点带来独有优势：
– 简单的靶镜附件，方便快速的光路设置和调整。SL600靶镜附件仅包括角锥及相关支架；只需简单将激光对准于角锥靶镜中心，就能够得到干涉信号。
– SL600支持垂直于激光光束放置的平面反射镜作为靶标，来代替角锥靶标；当平面反射镜有垂直于光束的侧向位移时，仍可以进行光束方向的位移测量。
实时分析软件，提供客户端控制接口
SL600使用 SL Metrology 软件，提供设备设置与控制，位置信信息的实时显示，数据记录等功能；我们还支持软件功能定制，提供客户所需的数据结果，曲线或界面。
SL600还可以提供通讯接口和软件支持，使它成为位移系统中实时位移检测部分，作为闭环控制的基准。